4月8日，华中科技大学《现代制冷空调技术》线上授课成功举办。天加市场应用支持经理、高级工程师朱春如，受邀为华中科技大学制冷专业研究生进行《针对微电子行业空气净化解决方案》专题线上授课。

天加市场应用支持经理、高级工程师朱春如，作专题授课

天加市场应用支持经理、高级工程师朱春如

 天加市场应用支持经理、高级工程师朱春如，作《针对微电子行业的空气净化方案》专题授课。随着电子行业的飞速发展，其生产环境对空气洁净等级需求也发生改变。她就电子行业产品报废率影响最大的空气成分以及如何控制有害物质进行分析，进一步详细阐述暖通空调行业采取的空气处理机组设计方案，是如何满足电子行业的净化要求，并对空气净化行业未来的发展与展望进行介绍。

 微电子行业洁净室空气化学污染物控制十分重要

 她在授课中指出，随着半导体线宽发展：20世纪60年代70μm发展到90年代不足 1μm[1]；之后随着线宽的光刻工艺由0.5μm ~0.35μm缩小至0.25μm~0.1μm，以及193nm浸入式光刻工艺的发明及后续发展，又将线宽缩小至32nm；当前因极紫外光刻（EUV，Extreme Ultra-violet）技术工艺研究的新进展，线宽已缩小至7nm，空气处理的质量对成品率的影响越来越关键，控制空气成分是电子行业运营控制的关键环节之一。

 在洁净室的HVAC（Heating Ventilation Air-Conditioning）暖通空调系统，包括新风机组MAU（Make-Up Air Unit）和循环风机组RHU（Recirculation Air Handling Unit）应配置合适的空气化学过滤器，在风机过滤单元FFU（Filter Fan Unit）中配置化学过滤网以及专用化学过滤装置，以满足大环境、微环境中维持合格的空气质量。

 天加在微电子行业室内空气化学污染物控制方法

 天加针对微电子行业室内空气化学污染物进行分析，采用室外空气经由16-20个功能段组合而成的新风机组的四级过滤，处理新风中的悬浮粒子和空气化学污染物， 达到ISO5级洁净度送入回风夹层，再由超高效净化风机过滤单元处理到ISO1级，实现核心区ISO1级洁净度，并将空气化学污染浓度值受控为ppb-ppt范围。

 天加是电子洁净行业最大的净化设备供应商，超过2000家电子企业选用天加净化产品，市场份额超过40%。成都熊猫电子，咸阳彩虹电子，合肥彩虹电子、云谷固安等多个知名企业都是天加尊贵客户。